高頻MEMS驅(qū)動(dòng)測(cè)試在當(dāng)今科學(xué)技術(shù)發(fā)展中應(yīng)用越來越多，在物理學(xué)、半導(dǎo)體、光學(xué)、電子工程、材料工程、機(jī)械工程及生物工程等多種學(xué)科和技術(shù)中都有涉及。近日，某科研單位需要實(shí)現(xiàn)正弦波驅(qū)動(dòng)，信號(hào)帶寬2MHz，驅(qū)動(dòng)電壓需要達(dá)到150Vpp，目前市面上的標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)發(fā)生器輸出電壓低、電壓小于10Vpp帶負(fù)載能力弱，輸出電流是m*別。無法解決高壓大功率驅(qū)動(dòng)問題。

如何解決高頻MEMS測(cè)試驅(qū)動(dòng)問題

高頻MEMS核心器件主要是一種壓電控制器件，主要是利用其壓電效應(yīng)和逆壓電效應(yīng)能夠?qū)崿F(xiàn)機(jī)械能與電能的轉(zhuǎn)換,可以通過將壓電控制器件在高頻電信號(hào)的激勵(lì)下產(chǎn)生高頻振動(dòng),激發(fā)出超聲波,可以通過壓電控制器件接收超聲波轉(zhuǎn)換成電信號(hào),從而實(shí)現(xiàn)超聲信號(hào)轉(zhuǎn)換。

高頻MEMS驅(qū)動(dòng)方式一般為激振蕩式驅(qū)動(dòng)，利用方波（或脈沖）振蕩器來激勵(lì)發(fā)聲。高頻MEMS主要工作在1MHz以上的頻率上，電壓需要100Vp-p左右，要求大輸出功率，市場上常規(guī)的信號(hào)發(fā)生器輸出電壓低，帶負(fù)載能力弱，功率放大器和信號(hào)發(fā)生器都需要具有高性能和高品質(zhì)的輸出波形：一方面是良好的穩(wěn)定性能，輸出波形失真小，并且信號(hào)發(fā)生器還需要能產(chǎn)生多種波形信號(hào)；另一方面是良好的動(dòng)態(tài)性能，調(diào)幅調(diào)頻方便，負(fù)載適應(yīng)性好，此外有些測(cè)試除了需要信號(hào)發(fā)生器提供輸出電壓外，還需要功率輸出。

針對(duì)此次測(cè)試：Aigtek推出測(cè)試方案：信號(hào)發(fā)生器+功率放大器，信號(hào)發(fā)生器推薦的是泰克的AFG3000系列信號(hào)發(fā)生器，功率放大器推薦的是ATA-4315，信號(hào)發(fā)生器輸出電壓幅度只有5Vp-p，接上功率放大器，輸出電壓達(dá)到了150Vpp，功率大105W，頻率范圍是DC-3MHz，可放大任意波形，輸出阻抗可調(diào)整，可驅(qū)動(dòng)各種阻性、容性、感性負(fù)載，*驅(qū)動(dòng)測(cè)試需求，功放輸出信號(hào)直接加載到高頻MEMS器件上面，同時(shí)使用高分辨率示波器進(jìn)行整個(gè)鏈路信號(hào)分析測(cè)試。

ATA-4315是一款理想的可放大交、直流信號(hào)的單通道高壓功率放大器。大輸出150Vp-p(±75Vp)電壓，105Wp功率，可以驅(qū)動(dòng)高壓功率型負(fù)載。電壓增益數(shù)控可調(diào)，一鍵保存常用設(shè)置，為您提供了方便簡潔的操作選擇，可與主流的信號(hào)發(fā)生器配套使用，實(shí)現(xiàn)信號(hào)的完美放大。

通道：單通道

電壓：大輸出電壓150Vp-p（±75Vp）

電流：大輸出電流 1Arms

帶寬：帶寬（-3dB）高達(dá)DC~3MHz

壓擺率：壓擺率 1000V/μs

更多應(yīng)用測(cè)試方向：

信號(hào)發(fā)生器+功率放大器+示波器測(cè)試方案還可以應(yīng)用在壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)、傳感器測(cè)試、超聲波換能器驅(qū)動(dòng)和無損檢測(cè)、電磁閥和繼電器驅(qū)動(dòng)、MEMS控制驅(qū)動(dòng)、無線充電測(cè)試等。